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1、1 12 2目录：目录：一、干菲林工序简介 二、干菲林工序流程图 三、干菲林各流程作用及原理 四、主要缺陷、原因及改善措施 五、工序潜力展望 六、环保和工业安全3 3一、干菲林工序简介一、干菲林工序简介 干菲林工序的作用是在清洁过的铜面上，通过贴 膜、曝光、显影将所需要的线路图形从菲林上转 移到板面上。4 4二、干菲林工序流程图二、干菲林工序流程图 自动上板 Hold time Hold time 少于4小时 少于4小时 自动出板 Hold time 少于4小时 完成 待到下工序 酸洗、火山灰磨板自动贴膜自动曝光自动撕Mylar显影AOI抽检、目检5 5三、干菲林各流程原理及作用三、干菲林各流

2、程原理及作用(一).火山灰磨板机 1.火山灰磨板机各段分布情况 酸洗 水洗 火山灰磨板 清水洗 高压水洗 热风吹干 超声波水洗 2.IS Pumex2000机器规格 运输宽度:610mm 板厚度:0.38-3.2mm 最小板长:180mm6 6 3.各段功能及参数控制 1).酸洗 通过稀硫酸与铜面上氧化铜化学作用，去除氧化物，提高干膜与铜面附着力，其反应原理为：H2SO4+CUO CUSO4+H2O硫酸 控制范围为3-5%(ml/l），温度为室温。2).水洗 清洗板面上残留酸液和CUSO4水溶液，室温控制。7 7 3).火山灰磨板 上下共3对火山灰磨刷混合火山灰将板面打磨并粗化 铜面。磨刷的寿

3、命取决于磨痕效果，当达不到磨痕要 求(1.0-1.5cm）时须更换磨刷。火山灰含量控制为15 -25Vol%。4).清水洗 粗略清洗板面和孔内火山灰8 8 5).超声波水洗 30-40C的超声波水洗，目的是震去孔内（特别是小孔）火山灰等杂物。6).高压水洗 清洗板面火山灰等杂物，压力一般控制在40-90bar。7).热风吹干 烘干板面，防止氧化，温度范围为65C-75C9 94.磨板效果检查 1).磨痕试验 做法：开动磨板机（除磨辘）直放入一长度为18”或 以上的板,待板到3对火山灰磨辘位置,停止运 输,开动磨辘,约5秒钟后停止磨辘.开动运输 及水洗将板送出,观察板面磨痕造否均匀,测 量全部磨

4、痕的宽度,正确磨痕宽度为1.0-1.5cm。若不在此范围需调较磨辘浓度平轮。1010 2).水破试验 将磨过的板放入水缸（或用水喉水冲），使板面全部 浸水，然后双手将板拿离水缸，使板面垂直，板面水 膜应维技15秒（或以上）不破为合格。5.生产中须注意事项 1).每班开工前检查喷咀正确才能生产，每天清洗 高压水 洗箱 2).每周清洁一次刀和烘干段运输辘11111.Hitachi HLM-A60自动贴膜机规格 板宽：200-610mm 板长：200-610mm 板厚：0.1-3.2mm1212 (二).自动贴膜（附预热装置）2).干膜简介 干膜（Dry film）为水溶性阻剂膜层，厚度一般有1.3

5、mil、1.5mil和2mil等,分聚酯保护膜、聚乙烯隔膜和光阻膜三层。聚乙烯隔膜的作用是当卷状干膜在运输及储存时间中，防止 其柔软的阻剂膜层与聚乙烯保护膜之表面发生沾黏。而保护 膜可防止氧气渗入阻剂层与其中自由基产生意外反应而使及 光聚合反应，耐碱性会加强对弱碱如碳酸钠等有一定的抵抗 力，未经聚合反应的干膜则很容易被碳酸钠溶液冲脱。干膜 的储存期一般为六个月，由制造日期开始计起。1313 3.预热装置 预热作用是烘干铜板，使贴膜前板面有50-65C湿度，以保 证与干膜有良好附着力 4.贴膜作用 通过机器的热压作用，使干膜均匀平贴在铜面上，作为图形 转移的载体 5.贴膜一般参数控制 贴膜速度：

6、2.0-3.0m/min 压辘温度:105-115C 压膜压力:3.0-4.0kgf/cm2 最大干膜尺寸：24”1414 三.自动曝光 1).自动曝光定义 已粘有干膜的板，经在曝光机里与曝光菲林进行机器自 动对孔完毕后，曝光灯发出紫外光（波长250-450m)投 射在其上，将曝光菲林上线路图形转移到感光干膜上。吸收紫外光的干膜发生聚合反应后硬化变色；未吸收紫 外光的干膜未聚合，冲板后溶掉。15152).Bacher自动曝光机规格 板厚:0.1mm-6mm 最小板尺寸:250mm320mm 最大板尺寸:528mm622mm 底尺寸:20”26”解像度:2mil 精准度:10m1616 2).B

7、acher自动曝光机主要工作原理及工作参数 主要工作原理：Bacher FAPS600自动曝光机是自动进板，通过CCD监控两定位孔与菲林对位，合格后自动曝光、自 动出板的全自动曝光，所用光源是仿平行光源（POK）。主要工作参数：曝光真空度：-0.50-0.65bar 菲林真空度:-0.8-1.0bar 抽真空时间:62Sec 曝光灯工作时间:1000hr1717 3.曝光能量控制 21格曝光尺中取7-9格范围中曝光感度 4.环境控制和生产注意事项 A.环境控制温度：18-22C 湿度：45-65%尘粒数：0.5m尘粒小于10k B.生产注意事项 菲林不能有擦伤、沙眼、灰尘、变形等，并按规定次数

8、更换 1818 四.自动撕Mylar(保护膜)1).作用:利用风刀和静电作用将保护膜撕拉出来,剩下阻剂膜 层来显影 2).Morton CSR2000自动撕Mylar机规格 板长(min,max):7.87”30”板厚(min,max):7.78”25.60”板厚:0.004“-0.126”最大速度:3m/min19195.显影1).定义:将菲林上没有曝光(即没有聚合反应)的地方用0.8-1.3gle 的碳酸钠药水溶解,余下硬化的图案,其反应原理为:CO32-+RESIST-COOH HCO3-RESISTCOO-2).显影流程 进板 出板 水洗的作用是去除板面上Na2CO3溶液,烘干是防止板

9、面氧化 和干膜继续溶解Na2CO3溶液水洗水洗 烘干2020 3）.显影效果检验及方法 露铜点测试，测试方法：使用点长度超过药水缸总长 一半的未曝光的生产板，按生产条件进入显影机，等 最后一块板完全进入到药水缸时停显影泵（运输、水 洗仍开动），等板从烘干段出来后，观察板面的干 净程度，例若于显影段50%处板面干净，未达50%处仍 有余留，则显影点为50%，例若于显影段40%处板面已 干净，其余仍有余留，则显影点为40%2121 4).自动加药量 按干膜特性及说明书加 5).除泡 菲林渣溶于碳酸钠内会产生泡沫，影响显影效果，需 加入适当除泡剂 6).一般显影参数 显影温度：28-32C，显影压力

10、：24-30psi 7).保养 为减少机体内外污物存在，每天和每周（产量约65kft2 /ww）需定时进行保养 2222 A.每天保养事项 每班清洁全部过滤袋，吸水海绵，检查喷咀和风刀是否 堵塞，否则清理或更换。B.每周保养 （I）.清洁烘干段的运输辘、风刀 （II）.清洗药水缸2323 程序为：4%-6%4%-6%0.8/-1%40-45OC 常温 室温 NaOH溶液洗水洗盐酸液洗水洗NaOH溶液洗2424四、目检常见缺陷、原因及改善措施四、目检常见缺陷、原因及改善措施 1).缺陷:干膜松 主要原因:1)磨板后板面有污痕或水痕 2)贴膜压力或温度不够 3)显影速度过慢 改善措施:1)消除污痕

11、来源,检查烘干风刀是否堵 2)将压力或温度调至合适范围 3)将速度调至合适范围 25252).缺陷：干膜碎 主要原因：1）贴膜压力过大 2）干膜超出板边，到撕Mylar时带起菲林碎 3）自动撕Mylar机滑刀不够锐利 4）显影压力过大 改善措施：1）将贴膜压力调至合适范围 2）干膜尺寸不得大于板尺寸 3）更换滑刀 4）将显影压力调至合适范围26263).缺陷：崩孔 主要原因：自动曝光机参数不合适，对歪孔 改善措施：将曝光参数调至合适范围4).缺陷：线幼 主要原因：曝光能量过度 改善措施：将曝光能量调至合适范围5).缺陷：短路 主要原因：曝光有垃圾 改善措施：清洁曝光机、菲林等2727、五工序潜力展望、五工序潜力展望 可生产4mil/4mil生产板六、环保和工业安全六、环保和工业安全 1.废弃药水处理:酸液、显影液磨板废液等排放到 污水处理厂专门处理 2.干膜是有毒物质,有仅直接用手触摸,如触摸须用 肥皂水彻底清洁 3.干膜气味较大,贮放和生产环境须排气足够 4.曝光灯开时,严禁打开曝光机