《电子工厂化学品系统设计规范》.doc

1、 电子工厂化学品系统设计规范编制工作大纲 一. 编制依据根据建设部关于印发2007年工程建设标准规范制定、修订计划（第二批）的通知（建标2007126号）和信息产业部关于下达二七年度电子工程建设标准定额制订修订计划的通知（信规函200718号）的文件精神，及2006年10月信息产业部电子工程标准定额站在北京召开的2007年度标准规范制修订计划工作会议，经主编单位专家和编写人员讨论，初步确定该规范的编制工作大纲。二. 编制内容本规范的编写将适用于集成电路/太阳能芯片生产厂、新型显示器件厂（TFT/PDP 厂）高纯化学品配送系统管道的设计、施工及验收。主要技术内容包括：高纯化学品（含研磨液）配送系

2、统设计，室内管道系统设计，品质在线侦测系统设计，有机溶剂间的防爆设计，气体、液体泄漏检测设计，配套的通风、废气处理、纯水、工艺系统废液收集、电力、生命安全等支持系统设计，土建设计以及上述设备、管道的施工及验收。三. 编制工作遵循的主要原则1. 积极吸收国内外电子工厂成熟的化学品系统设计的特点，参考欧美发达国家有关技术规范与标准，注意鼓励新技术、新工艺、新设备、新材料的应用。2. 编写过程应以科学的态度总结芯片生产厂、新型显示器件系统等电子工厂化学品系统设计、运行经验，较好地反映近年来的建设成果和运行经验，做到既有前瞻性又有科学性、实用性和可操作性。3. 严格按建设部【1996】626号工程建设

3、标准编写规定和工程建设标准出版印刷规定进行编写。编写工作阶段为准备阶段（含调研）、征求意见稿、送审稿、报批稿。4. 与现行国家标准、规范相协调。5. 以认真、缜密的态度从事调研和编写工作，按计划完成任务。四. 章节构成及分工(一) 章节构成1. 总则（说明：应包括本规范的编写目的，与其它标准规范的关系，应包括规范适用范围，本规范不包括化学品提纯工艺系统、不包括电子工厂废水、纯水、废气的化学品供应系统，只包括生产工艺上使用到的高纯化学品供应和回收系统，规范应重视新技术、节能和环保设备的推广应用的规定。）2. 术语3. 化学品配送系统（设计）3.1 一般规定3.2 设备要求3.3 管道设计3.4

4、管材与附件（说明：采用国际通用的管材名称，如PFA、SS304L、SS316L等，可在条文说明中详细说明管道材料的成分要求）。3.5 管道标识（说明：应有化学品种类的标识颜色、字体、流向等规定）4. 化学品回收系统（设计）4.1 一般规定4.2 设备要求4.3 管道设计4.4 管材与附件（说明：采用国际通用的管材名称，如CPVC，HDPE、碳钢衬PTFE等，可在条文说明中详细说明管道材料的成分要求）。4.5 管道标识（说明：应有化学品种类的标识颜色、字体、流向等规定）5. 监控及安全系统（设计）(说明：应包括化学品连续不间断供应系统的监控措施，生命安全保障系统，含气体、液体泄漏环境保护和检测系

5、统、消防疏散、地震等紧急情况等安全设施的规定)5.1 一般规定5.2 设备要求5.3 系统要求5.4 仪表与配件6. 相关专业6.1 一般规定本节应包括：1）包括化学品存放的一般规定，临时存放一般规定，集中存放在化学品库房时应执行现行建筑设防火计规范中的相关条文。2） 在总图规划上化学品配送设备间、临时化学品储存间、电气控制间的位置规定）。6.2 建筑结构（说明：应包括化学品配送设备间、化学品储存间、电气控制间等设计规定、以及防腐/防爆的规定）。6.3 电气及仪表控制（说明：应包括电气设计、照明、仪表、防雷及接地等的规定）6.4 给水排水及消防（说明：应包括纯水供应、消防系统、紧急洗眼/淋浴系

6、统设计的规定）6.5 采暖通风与空气调节（说明：应包括化学品配送设备间采暖通风与空气调节，以及废气处理系统的规定）7. 工程施工及验收7.1 设备和管道系统安装（说明：应包括洁净室要求、设备、材料存放规定、管道焊接规定等，管道焊接包括焊接方式的规定，如采用超高纯气体应自动焊， 高纯气体宜采用轨道焊等规定。）7.2 相关系统安装7.3 改扩建工程的施工7.4 施工及竣工验收（说明：仅为技术上的验收，行政上的竣工验收不在本规范内。应包括管道试压、吹扫、置换、充氮保护、取样位置等规定， 体现高纯气体与普通气体间验收的差别）7.4.1 验收的内容7.4.2 验收的方法7.4.3 验收的合格标准附录A

7、车间内架空化学品管道与其它架空管线之间的最小净距附录B 电子工厂常用高纯化学品（含研磨液）的种类及物理、化学特性、储存方式附录C 电子工厂高纯化学品物流简图(二) 分工 1中国电子系统工程第二建设有限公司主要负责第7章：工程施工及验收，华虹、德芯配合中电二编写，十一院负责检查、整理、排版。2上海华虹-NEC负责第3.2, 3.4, 4.2,4.4，5.2,5.4章节。3德芯电子（昆山）有限公司负责第3.2, 3.4, 4.2,4.4，5.2,5.4章节。4信息产业电子第十一设计研究院有限公司负责规范编写整体进度、质量控制、文件整理、编辑，并负责第1，2，3.1, 3.3, 3.5,4.1, 4

8、.3, 4.5,5.1,5.3，5.5章节。五. 调研及其分工（一） 调研内容调查近年来如下几类电子工业高纯化学品系统设计、施工、运行相关内容，填写附表，要求每类不少于两个电子工厂项目。1. 集成电路/太阳能芯片生产厂2. 新型显示器件（PDP/TFT）（二） 分工1中国电子系统工程第二建设有限公司负责调查集成电路/太阳能芯片生产厂和新型显示器件（PDP/TFT）各一个项目的施工或运行情况，并完成调查表。2上海华虹-NEC负责调查集成电路/太阳能芯片生产厂和新型显示器件（PDP/TFT）各一个项目的运行情况，并完成调查表。3德芯电子（昆山）有限公司负责调查集成电路/太阳能芯片生产厂和新型显示器

9、件（PDP/TFT）各一个项目的运行情况，并完成调查表。4信息产业电子第十一设计研究院负责负责调查集成电路/太阳能芯片生产厂和新型显示器件（PDP/TFT）各一个项目的设计情况，并完成调查表。六. 专题报告各单位自行调查，收集资料，提供电子工厂高纯化学品系统“国内外技术现状和发展趋势”专题报告一篇。七. 进度安排1. 第一次编写工作会议2008年4月召开第一次编写工作会议，确定编写组的组成、编写工作大纲和各项工作分工。2. 征求意见初稿2008年10月底各单位完成征求意见稿的编写，提交主编单位，汇总后形成征求意见初稿，条文说明最好同时提供。2008年11月底由主编单位完成征求意见初稿。2008

10、年12月各单位完成高纯化学品系统调查和专题报告1份，提交主编单位。3. 第二次编写工作会议2008年12月召开，完成征求意见稿第二次编写工作会议。2009年2月发行并发行征求意见稿至有关单位、专家征求意见。4. 送审稿2009年6月各单位根据对征求意见稿的反馈意见进行修改，提交主编单位、汇总，形成送审稿，发至有关专家征求意见。5. 第三次编写工作会议（送审稿审查会）2009年6月召开送审稿审查会。2009年6月各单位根据对送审稿的审查意见进行修改（含条文说明修改），提交主编单位。6. 报批稿 2009年8月汇总，形成报批初稿。7. 第四次编写工作会议2009年10月召开第四次编写工作会议，完成

11、规范的报批稿，上报。八. 编写组的组成主编单位：信息产业电子第十一设计研究院有限公司参编单位：中国电子系统工程建设第二建设公司 上海华虹-NEC德芯电子（昆山）有限公司九. 附件 高纯化学品配送系统调查项目表（一）高纯化学品配送系统调查项目表（二）高纯化学品配送系统调查项目表（三）化学品配送系统调查项目表（一）建设单位设计单位工程名称竣工时间工程类型新建 扩建 改建 化学品配送设备间位置是否位于厂区主要道路旁边是 否 是否靠近工艺使用点是 否 化学品配送设备站建筑形式1单建 合建 2单层 多层 化学品配送站在建筑中位置底层 中间层 顶层 工厂类型和生产产品 产品年产量 有机化学品配送站化学品名

12、称建筑面积建筑装修1 墙体A防爆墙 B非防爆墙 2 地面A防静电地面 B非静电地面 3 吊顶A硬吊顶 B普通吊顶 C无吊顶 4门 尺寸防火等级配电方式1 只有一路市电 2 两路市电互投 A 变电站互投 B 末端互投 3 一路正常电和一路柴油机电源互投A 变电站互投 B 末端互投 4 是否配UPS 是 否 消防设置1 喷淋系统 房间 配送设备 2 消火栓系统 3 消防灭火器类型 A 房间1) CO2 2) 干粉 3) 泡沫 4) 水 B. 配送柜1) CO2 2) 干粉 3) 泡沫 4) 水 空调、采暖方式及温湿度要求1空调/采暖有 无 2温度要求 C3湿度要求 %一般通风设置有 无 紧急通风设

13、置有 无 给水1 自来水 2 冷冻水 3 PCW 4 纯水 排水/废液收集1 地漏 2 地沟 3 废液收集系统 4 阀门井 连接 FMCS 或BMS1 是 2 否 无机化学品配送站化学品名称建筑面积建筑装修1 墙体A防爆墙 B非防爆墙 2 地面A防静电地面 B非静电地面 3 吊顶A硬吊顶 B普通吊顶 4门 尺寸防火等级配电方式1 只有一路市电 2 两路市电互投 A 变电站互投 B 末端互投 3 一路正常电和一路柴油机电源互投A 变电站互投 B 末端互投 4 是否配UPS 是 否 消防设置1 喷淋系统 2 消火栓系统 3 消防灭火器类型 A 房间1) CO2 2) 干粉 3) 泡沫 4) 水 B

14、. 配送柜1) CO2 2) 干粉 3) 泡沫 4) 水 空调、采暖方式及温湿度要求1空调/采暖有 无 2温度要求 C3湿度要求 %一般通风设置有 无 紧急通风设置有 无 给水1 自来水 2 冷冻水 3 PCW 4 纯水 排水1 地漏 2 地沟 3 废液收集系统 4 阀门井 连接FMCS 1 是 2 否 有机化学品（临时）存放间建筑面积建筑装修1 墙体A防爆墙 B非防爆墙 2 地面A防静电地面 B非静电地面 3 吊顶A硬吊顶 B普通吊顶 4门 尺寸防火等级配电方式1 只有一路市电 2 两路市电互投 C 变电站互投 D 末端互投 3 一路正常电和一路柴油机电源互投C 变电站互投 D 末端互投 4

15、 是否配UPS 是 否 消防设置1 喷淋系统 2 消火栓系统 3 消防灭火器类型 A CO2 B 干粉 C 泡沫 D 水 空调、采暖方式与温湿度要求1空调/采暖有 无 2温度要求 C3湿度要求 %一般通风设置有 无 紧急通风设置有 无 无机化学品（临时）存放间建筑面积建筑装修1 墙体A防爆墙 B非防爆墙 2 地面A防静电地面 B非静电地面 3 吊顶A硬吊顶 B普通吊顶 4门 尺寸防火等级配电方式1 只有一路市电 2 两路市电互投 E 变电站互投 F 末端互投 3 一路正常电和一路柴油机电源互投E 变电站互投 F 末端互投 4 是否配UPS 是 否 消防设置4 喷淋系统 5 消火栓系统 6 消防

16、灭火器类型 A CO2 B 干粉 C 泡沫 D 水 空调、采暖方式与温湿度要求1空调/采暖有 无 2温度要求 C3湿度要求 %一般通风设置有 无 紧急通风设置有 无 控制监测室建筑面积建筑装修1 墙体A防爆墙 B非防爆墙 2 地面A防静电地面 B非静电地面 3 吊顶A硬吊顶 B普通吊顶 配电方式5 只有一路市电 6 两路市电互投 G 变电站互投 H 末端互投 7 一路正常电和一路柴油机电源互投G 变电站互投 H 末端互投 8 是否配UPS 是 否 消防设置7 喷淋系统 8 消火栓系统 9 消防灭火器类型 A CO2 B 干粉 C 泡沫 D 水 空调、采暖方式与温湿度要求1空调/采暖有 无 2温

17、度要求 C3湿度要求 %一般通风设置有 无 紧急通风设置有 无 控制监控系统设置简述2化学品配送系统调查项目表（二）序号化学品配送柜/CCB储罐/过滤器在线品质监测仪组 成形 式排风量材 质设备运行状况好/坏生产厂家型号、规格材料、连接方式生产厂家/设备更换及维护类型材料及连接方式生产厂家、型号、规格123456789101112131415化学品配送系统调查项目表（三）序号流量计/液位计阀门箱管道阀 门泄漏探测器类型、材料、连接方式设置位置生产厂家、型号、规格阀组数量连接方式生产厂家材料及规格连接方式生产厂家类 型及材料连接方式生产厂家、型号、规格探测器类型设置位置设置数量生产厂家、型号、规格123456789101112131415