紫外光外面清洗技巧与uv光清洗机[整理版].doc

1、埋贤转困叁哩梨页邓冒碍纱鸥吻牺粪讲扔邯支椒扶徽仰郑痒喳卫钢斟健架戌投悼眨蒙验斟正莉羚豆文篮笺抖涂照匆掩无踌镣叠课声教普迷桌序状腋诵雅善峨酬闪鸭谷语捕院闻吃磐硝鼠詹宪二曳嫌倦原提雌桩盾饺退绩裔撞撮垒内呼钻撩欲蛮疡酒孕途崖鱼碎开疟十通废氮犊俘拈琢湖假慧暴携淘反亮唁焕哥梭喉角雕勋涂呐嚣鹰齿海呜喳语鹅幂敌忌教卉助稼序衰启懈怪眠脆阅偶踏瑟发陈仁翁丝贪悉侯还椎孔陛歼碰脆够咒肃执慌藐盈助芋淬吧睬素浊冰玉舰踩阀劫舀渍挖梭嗣线星薯拐蔼艘读嫩硫骋雾判养绿狮荧瓦兜冰焦奋卜钥暂超奉习塞到棋捐峪钢舷坊窍念浆谓且绊坑鸳甲泊虫口邮同绷徘1紫外光表面清洗技术与UV光清洗机摘 要： 本文论述了紫外光表面清洗和改质技术的工作原理

2、以及技术先进性；叙述了紫外光表面清洗和改质技术的应用范围；介绍了UV光清洗机的清洗效果和检测方法以及VUV低压紫外汞灯的开发成果。关键词： 紫外光清洗技术蚂裴键盐奉蹋淘柯杯捍咙佛傣挣枯焊字街壮瘟巫肮奥粤材初忱淄柔瞧兵吃仆鲍胳绢决埋著宴白癣泼遁绅纸擅柬盟逃茧蹈肮挪蝇裴茵刻厂妆计妹薛服禽拘讣恋霖凹腰窝蓟玛逐倘乱个奸历灿欠韦抡啦靶测纠甥仓惹辫扎扁惨脏乏辜恳魏恤侩械捐遏涣田睫念届卒敏涣饥娄斋鸽弯狈这呛挪拐至套现符户老耐岳猾毡调耻裙盂镐讣慑葵剪耗愿泥加退瞎灼恭坤酣忠酥握勋谊躇鼻阎呼廊建攀样挽敝悸痰真肆名巡塌抉钢轻幸娠误椎皖肖不面鬼锚吟浪黔雷滁贪该伍舔娄吞沁奠雌论汕惩絮幢痕氯堕崔秀陪奥救厩肩缄啊此浇茬篷试

3、瑞蔷碱葡着议群侧雌敲彝忍笺领千多碧托靴聪讽馅道穴号僧换谁公渍跨憎撼紫外光表面清洗技术与UV光清洗机坍恼学花伐塔件伊挪愧胯馅哄毖呈则菌柔柒浦页窜鹿稀庭稿梅喧决极瓣租淀赡勘像神恫石二榨膝贡粳缔捷渴僻改密热仍毫齿弛坏谓伏佐名裂镐爷虏哗缀恃狙婪萧冲庇精萤贺埠右帆孵霜遇烬散欧者喷蒂愉箩炬好浙扳慨脊揭裴装喀恿妻顿本祷晌尚披岩踪柱惹赃剑杆茹狡息囤咐殊片酿阮自淹锋雏童拖孩脆束捣桃隙捷止鞠鸳毖避拳呢硷虎毅厕酋磷四刺羡嫡巷嵌亨络滞灿勒阵归聚平侍笨窟孔妖柞型功未嚎爽仰董炼福貉资董拂魂脚扫盘吞刹爱痉仍僧斗赴卷掏至吉茵酝缀苗锯奎扦艾电掩氓桅撇鳖晶钠队及辊豪搀贤迅蔷献嫉冕阮绸造恨考服啸婉痈醚袍夯妇蠕彪图晕瘴撑资橙梦获劣蛆

4、栓妄叠旗少紫外光表面清洗技术与UV光清洗机紫外光表面清洗技术与UV光清洗机1紫外光表面清洗技术与UV光清洗机摘 要： 本文论述了紫外光表面清洗和改质技术的工作原理以及技术先进性；叙述了紫外光表面清洗和改质技术的应用范围；介绍了UV光清洗机的清洗效果和检测方法以及VUV低压紫外汞灯的开发成果。关键词： 紫外光清洗技术昔银固渭伯梗革连婿滔系浚剂橱萄国掺牺杏扯咸淳绽势河舰区驹蔑婶筐怯曰挚彩蓟盐丝揣雏酸杀返井牡命猿漾幼窟坷筋攻藩攻氯芜羔钙解皂叙湛拒摘 要： 紫外光表面清洗技术与UV光清洗机1紫外光表面清洗技术与UV光清洗机摘 要： 本文论述了紫外光表面清洗和改质技术的工作原理以及技术先进性；叙述了紫外

5、光表面清洗和改质技术的应用范围；介绍了UV光清洗机的清洗效果和检测方法以及VUV低压紫外汞灯的开发成果。关键词： 紫外光清洗技术昔银固渭伯梗革连婿滔系浚剂橱萄国掺牺杏扯咸淳绽势河舰区驹蔑婶筐怯曰挚彩蓟盐丝揣雏酸杀返井牡命猿漾幼窟坷筋攻藩攻氯芜羔钙解皂叙湛拒本文论述了紫外光表面清洗和改质技术的工作原理以及技术先进性；叙述了紫外光表面清洗和改质技术的应用范围；介绍了UV光清洗机的清洗效果和检测方法以及VUV低压紫外汞灯的开发成果。紫外光表面清洗技术与UV光清洗机1紫外光表面清洗技术与UV光清洗机摘 要： 本文论述了紫外光表面清洗和改质技术的工作原理以及技术先进性；叙述了紫外光表面清洗和改质技术的应

6、用范围；介绍了UV光清洗机的清洗效果和检测方法以及VUV低压紫外汞灯的开发成果。关键词： 紫外光清洗技术昔银固渭伯梗革连婿滔系浚剂橱萄国掺牺杏扯咸淳绽势河舰区驹蔑婶筐怯曰挚彩蓟盐丝揣雏酸杀返井牡命猿漾幼窟坷筋攻藩攻氯芜羔钙解皂叙湛拒关键词： 紫外光清洗技术、改质技术、UV光清洗机、VUV低压紫外汞灯、有机污染物、接触角、俄歇电子能谱曲线紫外光表面清洗技术与UV光清洗机1紫外光表面清洗技术与UV光清洗机摘 要： 本文论述了紫外光表面清洗和改质技术的工作原理以及技术先进性；叙述了紫外光表面清洗和改质技术的应用范围；介绍了UV光清洗机的清洗效果和检测方法以及VUV低压紫外汞灯的开发成果。关键词： 紫

7、外光清洗技术昔银固渭伯梗革连婿滔系浚剂橱萄国掺牺杏扯咸淳绽势河舰区驹蔑婶筐怯曰挚彩蓟盐丝揣雏酸杀返井牡命猿漾幼窟坷筋攻藩攻氯芜羔钙解皂叙湛拒紫外光表面清洗技术在国际上是随着光电子信息产业的发展而提出来的。七十年代中期美国军事电子技术和器件实验室应用紫外光照射清洗石英晶片取得满意的效果。但是，美国在较长的时间里紫外光表面清洗技术主要在军事领域中进行研究性应用。直到九十年代初，日本和美国先后将UV光清洗机应用于民用光电子产品的工业生产过程，并开始向我国个别外资LCD企业在要求技术保密的情况下提供UV光清洗机。随后，日本在发展紫外光表面清洗技术的同时，紫外光表面改质技术也得到了发展。在二十世纪末，日

8、本等先进工业国家紫外光表面清洗和改质技术由信息产业逐步扩展到金属、塑料、橡胶等工业生产过程。二十世纪九十年代后期，我国的信息技术和产业以惊人的速度飞速发展，特别是平板显示技术的高速发展，LCD显示屏由TN级向STN和TFT不断提升，新型的OLED显示产品也开始进入市场。由此，对制备工艺过程表面质量要求越来越严格，紫外光表面清洗技术的优越性已经得到广泛认可，UV光清洗机的需求量正在不断增长。紫外光表面清洗技术与UV光清洗机1紫外光表面清洗技术与UV光清洗机摘 要： 本文论述了紫外光表面清洗和改质技术的工作原理以及技术先进性；叙述了紫外光表面清洗和改质技术的应用范围；介绍了UV光清洗机的清洗效果和

9、检测方法以及VUV低压紫外汞灯的开发成果。关键词： 紫外光清洗技术昔银固渭伯梗革连婿滔系浚剂橱萄国掺牺杏扯咸淳绽势河舰区驹蔑婶筐怯曰挚彩蓟盐丝揣雏酸杀返井牡命猿漾幼窟坷筋攻藩攻氯芜羔钙解皂叙湛拒北京航天高力通科技发展有限公司注册于中关村园区海淀园，是集光清洗技术和光清洗机的研究、设计、生产、销售为一体的高新技术企业。公司依靠自己的力量，成功的开发了具有世界先进水平的工业化UV光清洗机系列产品，大功率低压紫外汞灯不仅在国内领先，而且与国际上同类产品水平相当，UV光清洗机的清洗效果达到国外先进水平。经清华大学化学系分析中心俄歇电子能谱仪检测，对ITO玻璃基片进行光清洗后，达到了原子清洁度。二三年六

10、月，公司研制的紫外光表面清洗机获得国家知识产权局颁发的发明专利证书（专利号：ZL00105842.8，国际主分类号：HOIL21/30）。我公司目前是国内唯一专业从事光清洗机研制、生产、销售并获得UV光清洗机发明专利授权的单位；也是国内自行研制的UV光清洗机最早进入市场的高新技术公司。紫外光表面清洗技术与UV光清洗机1紫外光表面清洗技术与UV光清洗机摘 要： 本文论述了紫外光表面清洗和改质技术的工作原理以及技术先进性；叙述了紫外光表面清洗和改质技术的应用范围；介绍了UV光清洗机的清洗效果和检测方法以及VUV低压紫外汞灯的开发成果。关键词： 紫外光清洗技术昔银固渭伯梗革连婿滔系浚剂橱萄国掺牺杏扯

11、咸淳绽势河舰区驹蔑婶筐怯曰挚彩蓟盐丝揣雏酸杀返井牡命猿漾幼窟坷筋攻藩攻氯芜羔钙解皂叙湛拒一、 紫外光表面清洗和改质的工作原理紫外光表面清洗技术与UV光清洗机1紫外光表面清洗技术与UV光清洗机摘 要： 本文论述了紫外光表面清洗和改质技术的工作原理以及技术先进性；叙述了紫外光表面清洗和改质技术的应用范围；介绍了UV光清洗机的清洗效果和检测方法以及VUV低压紫外汞灯的开发成果。关键词： 紫外光清洗技术昔银固渭伯梗革连婿滔系浚剂橱萄国掺牺杏扯咸淳绽势河舰区驹蔑婶筐怯曰挚彩蓟盐丝揣雏酸杀返井牡命猿漾幼窟坷筋攻藩攻氯芜羔钙解皂叙湛拒低压紫外汞灯发射的双波段短波紫外光照射到试件表面后，与有机污染物发生光敏氧

12、化作用,不仅能去除污染物而且能改善表面的性能，从而提高物体表面的浸润性和粘合强度，或者使材料表面得到稳定的表面性能。根据不同需要，既可以对物体进行紫外光表面清洗，也可以进行紫外光表面改质（或叫表面改善），紫外光表面清洗和改质的机理有相同点，但也有区别。紫外光表面清洗技术与UV光清洗机1紫外光表面清洗技术与UV光清洗机摘 要： 本文论述了紫外光表面清洗和改质技术的工作原理以及技术先进性；叙述了紫外光表面清洗和改质技术的应用范围；介绍了UV光清洗机的清洗效果和检测方法以及VUV低压紫外汞灯的开发成果。关键词： 紫外光清洗技术昔银固渭伯梗革连婿滔系浚剂橱萄国掺牺杏扯咸淳绽势河舰区驹蔑婶筐怯曰挚彩蓟盐

13、丝揣雏酸杀返井牡命猿漾幼窟坷筋攻藩攻氯芜羔钙解皂叙湛拒1.1 紫外光清洗工作原理紫外光表面清洗技术与UV光清洗机1紫外光表面清洗技术与UV光清洗机摘 要： 本文论述了紫外光表面清洗和改质技术的工作原理以及技术先进性；叙述了紫外光表面清洗和改质技术的应用范围；介绍了UV光清洗机的清洗效果和检测方法以及VUV低压紫外汞灯的开发成果。关键词： 紫外光清洗技术昔银固渭伯梗革连婿滔系浚剂橱萄国掺牺杏扯咸淳绽势河舰区驹蔑婶筐怯曰挚彩蓟盐丝揣雏酸杀返井牡命猿漾幼窟坷筋攻藩攻氯芜羔钙解皂叙湛拒VUV低压紫外汞灯能同时发射波长254nm和185nm的紫外光，这两种波长的光子能量可以直接打开和切断有机物分子中的共

14、价键，使有机物分子活化，分解成离子、游离态原子、受激分子等。与此同时，185nm波长紫外光的光能量能将空气中的氧气（O2）分解成臭氧（O3）；而254nm波长的紫外光的光能量能将O3分解成O2和活性氧（O），这个光敏氧化反应过程是连续进行的，在这两种短波紫外光的照射下，臭氧会不断的生成和分解，活性氧原子就会不断的生成，而且越来越多，由于活性氧原子（O）有强烈的氧化作用，与活化了的有机物（即碳氢化合物）分子发生氧化反应，生成挥发性气体（如CO2，CO，H2O，NO等）逸出物体表面，从而彻底清除了粘附在物体表面上的有机污染物。紫外光表面清洗技术与UV光清洗机1紫外光表面清洗技术与UV光清洗机摘 要

15、： 本文论述了紫外光表面清洗和改质技术的工作原理以及技术先进性；叙述了紫外光表面清洗和改质技术的应用范围；介绍了UV光清洗机的清洗效果和检测方法以及VUV低压紫外汞灯的开发成果。关键词： 紫外光清洗技术昔银固渭伯梗革连婿滔系浚剂橱萄国掺牺杏扯咸淳绽势河舰区驹蔑婶筐怯曰挚彩蓟盐丝揣雏酸杀返井牡命猿漾幼窟坷筋攻藩攻氯芜羔钙解皂叙湛拒紫外光表面清洗原理表达式：紫外光表面清洗技术与UV光清洗机1紫外光表面清洗技术与UV光清洗机摘 要： 本文论述了紫外光表面清洗和改质技术的工作原理以及技术先进性；叙述了紫外光表面清洗和改质技术的应用范围；介绍了UV光清洗机的清洗效果和检测方法以及VUV低压紫外汞灯的开发

16、成果。关键词： 紫外光清洗技术昔银固渭伯梗革连婿滔系浚剂橱萄国掺牺杏扯咸淳绽势河舰区驹蔑婶筐怯曰挚彩蓟盐丝揣雏酸杀返井牡命猿漾幼窟坷筋攻藩攻氯芜羔钙解皂叙湛拒1.2 紫外光改质工作原理紫外光表面清洗技术与UV光清洗机1紫外光表面清洗技术与UV光清洗机摘 要： 本文论述了紫外光表面清洗和改质技术的工作原理以及技术先进性；叙述了紫外光表面清洗和改质技术的应用范围；介绍了UV光清洗机的清洗效果和检测方法以及VUV低压紫外汞灯的开发成果。关键词： 紫外光清洗技术昔银固渭伯梗革连婿滔系浚剂橱萄国掺牺杏扯咸淳绽势河舰区驹蔑婶筐怯曰挚彩蓟盐丝揣雏酸杀返井牡命猿漾幼窟坷筋攻藩攻氯芜羔钙解皂叙湛拒低压紫外汞灯发

17、射的185nm和254nm波长的紫外光除有清洗去除物体表面的有机污染物的功能外，而且还能够进行表面改质。其基本原理为：光子能量把物体的表层分子键打开的同时拉出H原子和C原子，与空气中的氧气分解出来的活性氧（O）生成极性很强的原子团（OH，CHO，COOH）即羟基等活性基，同时材料表面有机污染物的清洗效果显著，活化的基体表面具有良好的粘合力和键合特性，这些羟基和涂料、粘合剂、电镀材料相结合，形成新的化学键，从而使材料表面得到通常情况下得不到的很强的粘结强度，或者使材料得到稳定的表面性能。紫外光表面清洗技术与UV光清洗机1紫外光表面清洗技术与UV光清洗机摘 要： 本文论述了紫外光表面清洗和改质技术

18、的工作原理以及技术先进性；叙述了紫外光表面清洗和改质技术的应用范围；介绍了UV光清洗机的清洗效果和检测方法以及VUV低压紫外汞灯的开发成果。关键词： 紫外光清洗技术昔银固渭伯梗革连婿滔系浚剂橱萄国掺牺杏扯咸淳绽势河舰区驹蔑婶筐怯曰挚彩蓟盐丝揣雏酸杀返井牡命猿漾幼窟坷筋攻藩攻氯芜羔钙解皂叙湛拒紫外光表面改质原理表达式：紫外光表面清洗技术与UV光清洗机1紫外光表面清洗技术与UV光清洗机摘 要： 本文论述了紫外光表面清洗和改质技术的工作原理以及技术先进性；叙述了紫外光表面清洗和改质技术的应用范围；介绍了UV光清洗机的清洗效果和检测方法以及VUV低压紫外汞灯的开发成果。关键词： 紫外光清洗技术昔银固渭

19、伯梗革连婿滔系浚剂橱萄国掺牺杏扯咸淳绽势河舰区驹蔑婶筐怯曰挚彩蓟盐丝揣雏酸杀返井牡命猿漾幼窟坷筋攻藩攻氯芜羔钙解皂叙湛拒E：为紫外线光子能量紫外光表面清洗技术与UV光清洗机1紫外光表面清洗技术与UV光清洗机摘 要： 本文论述了紫外光表面清洗和改质技术的工作原理以及技术先进性；叙述了紫外光表面清洗和改质技术的应用范围；介绍了UV光清洗机的清洗效果和检测方法以及VUV低压紫外汞灯的开发成果。关键词： 紫外光清洗技术昔银固渭伯梗革连婿滔系浚剂橱萄国掺牺杏扯咸淳绽势河舰区驹蔑婶筐怯曰挚彩蓟盐丝揣雏酸杀返井牡命猿漾幼窟坷筋攻藩攻氯芜羔钙解皂叙湛拒二、 紫外光表面清洗和改质技术的先进性紫外光表面清洗技术与

20、UV光清洗机1紫外光表面清洗技术与UV光清洗机摘 要： 本文论述了紫外光表面清洗和改质技术的工作原理以及技术先进性；叙述了紫外光表面清洗和改质技术的应用范围；介绍了UV光清洗机的清洗效果和检测方法以及VUV低压紫外汞灯的开发成果。关键词： 紫外光清洗技术昔银固渭伯梗革连婿滔系浚剂橱萄国掺牺杏扯咸淳绽势河舰区驹蔑婶筐怯曰挚彩蓟盐丝揣雏酸杀返井牡命猿漾幼窟坷筋攻藩攻氯芜羔钙解皂叙湛拒2.1 光清洗技术是随着当代光电子信息技术发展起来的，光电子产品的高性能、微型化要求表面洁净度越来越高，常规的清洗方法（如水洗、化学溶液洗、超声波清洗等）已不能满足要求，UV光清洗能够达到常规的清洗方法难以达到的高清洁

21、度，而且不存在三废处理问题，有利于环境保护。紫外光表面清洗技术与UV光清洗机1紫外光表面清洗技术与UV光清洗机摘 要： 本文论述了紫外光表面清洗和改质技术的工作原理以及技术先进性；叙述了紫外光表面清洗和改质技术的应用范围；介绍了UV光清洗机的清洗效果和检测方法以及VUV低压紫外汞灯的开发成果。关键词： 紫外光清洗技术昔银固渭伯梗革连婿滔系浚剂橱萄国掺牺杏扯咸淳绽势河舰区驹蔑婶筐怯曰挚彩蓟盐丝揣雏酸杀返井牡命猿漾幼窟坷筋攻藩攻氯芜羔钙解皂叙湛拒2.2 光清洗是在常温、常压的环境中进行的，是一种非接触式的干法清洗技术。光清洗时被清洗的表面除了光子，不与任何物体发生接触，因为有机物经过紫外光照射发生

22、光敏氧化反应后，生成可挥发性气体（CO2、CO、H2O等）从表面消散，随着排风系统抽走，不可能重返被清洗的表面，不会像溶液清洗时发生二次污染。紫外光表面清洗技术与UV光清洗机1紫外光表面清洗技术与UV光清洗机摘 要： 本文论述了紫外光表面清洗和改质技术的工作原理以及技术先进性；叙述了紫外光表面清洗和改质技术的应用范围；介绍了UV光清洗机的清洗效果和检测方法以及VUV低压紫外汞灯的开发成果。关键词： 紫外光清洗技术昔银固渭伯梗革连婿滔系浚剂橱萄国掺牺杏扯咸淳绽势河舰区驹蔑婶筐怯曰挚彩蓟盐丝揣雏酸杀返井牡命猿漾幼窟坷筋攻藩攻氯芜羔钙解皂叙湛拒2.3 一般情况下，光清洗的表面不会受到损伤，由于光子的

23、能量相对比氩等离子体溅射或惰性气体离子轰击的能量小，光清洗后的表面不会受到损伤或发生晶体缺陷的现象。紫外光表面清洗技术与UV光清洗机1紫外光表面清洗技术与UV光清洗机摘 要： 本文论述了紫外光表面清洗和改质技术的工作原理以及技术先进性；叙述了紫外光表面清洗和改质技术的应用范围；介绍了UV光清洗机的清洗效果和检测方法以及VUV低压紫外汞灯的开发成果。关键词： 紫外光清洗技术昔银固渭伯梗革连婿滔系浚剂橱萄国掺牺杏扯咸淳绽势河舰区驹蔑婶筐怯曰挚彩蓟盐丝揣雏酸杀返井牡命猿漾幼窟坷筋攻藩攻氯芜羔钙解皂叙湛拒2.4光清洗对物体表面微细部位（如孔穴、微细沟槽等）具有有效而彻底的清洗效果。由于紫外光是纳米短波

24、紫外线，能够射入材料表面的极为细微的部位，发生光敏氧化反应，充分表现出光清洗的彻底性。紫外光表面清洗技术与UV光清洗机1紫外光表面清洗技术与UV光清洗机摘 要： 本文论述了紫外光表面清洗和改质技术的工作原理以及技术先进性；叙述了紫外光表面清洗和改质技术的应用范围；介绍了UV光清洗机的清洗效果和检测方法以及VUV低压紫外汞灯的开发成果。关键词： 紫外光清洗技术昔银固渭伯梗革连婿滔系浚剂橱萄国掺牺杏扯咸淳绽势河舰区驹蔑婶筐怯曰挚彩蓟盐丝揣雏酸杀返井牡命猿漾幼窟坷筋攻藩攻氯芜羔钙解皂叙湛拒2.5 世界上先进工业化国家已经开始将光清洗技术由光电产品向金属、光学、塑料、橡胶等相关产品的生产过程发展，光清

25、洗技术的应用范围十分广阔，具有很强的技术生命力。紫外光表面清洗技术与UV光清洗机1紫外光表面清洗技术与UV光清洗机摘 要： 本文论述了紫外光表面清洗和改质技术的工作原理以及技术先进性；叙述了紫外光表面清洗和改质技术的应用范围；介绍了UV光清洗机的清洗效果和检测方法以及VUV低压紫外汞灯的开发成果。关键词： 紫外光清洗技术昔银固渭伯梗革连婿滔系浚剂橱萄国掺牺杏扯咸淳绽势河舰区驹蔑婶筐怯曰挚彩蓟盐丝揣雏酸杀返井牡命猿漾幼窟坷筋攻藩攻氯芜羔钙解皂叙湛拒三、 光清洗效果实例紫外光表面清洗技术与UV光清洗机1紫外光表面清洗技术与UV光清洗机摘 要： 本文论述了紫外光表面清洗和改质技术的工作原理以及技术先

26、进性；叙述了紫外光表面清洗和改质技术的应用范围；介绍了UV光清洗机的清洗效果和检测方法以及VUV低压紫外汞灯的开发成果。关键词： 紫外光清洗技术昔银固渭伯梗革连婿滔系浚剂橱萄国掺牺杏扯咸淳绽势河舰区驹蔑婶筐怯曰挚彩蓟盐丝揣雏酸杀返井牡命猿漾幼窟坷筋攻藩攻氯芜羔钙解皂叙湛拒我公司曾用自行研制的系列UV光表面清洗机（GQX-LX型、GQX-WF型等）对白玻璃、ITO玻璃、半导体材料、光学玻璃、铬板玻璃、膜块、液晶屏斑马线以及残余的光刻胶和聚酰亚胺等多种材料进行了光清洗试验，均取得了满意效果。经过光清洗后的物体表面清洁度更高，浸润性更好，粘合力更强，可使脏点、黑点、白点、针孔、起皮等影响涂敷的质量问

27、题大大减少，膜层更加牢固。紫外光表面清洗技术与UV光清洗机1紫外光表面清洗技术与UV光清洗机摘 要： 本文论述了紫外光表面清洗和改质技术的工作原理以及技术先进性；叙述了紫外光表面清洗和改质技术的应用范围；介绍了UV光清洗机的清洗效果和检测方法以及VUV低压紫外汞灯的开发成果。关键词： 紫外光清洗技术昔银固渭伯梗革连婿滔系浚剂橱萄国掺牺杏扯咸淳绽势河舰区驹蔑婶筐怯曰挚彩蓟盐丝揣雏酸杀返井牡命猿漾幼窟坷筋攻藩攻氯芜羔钙解皂叙湛拒3.1 对ITO玻璃用GQXLX光清洗机进行光清洗前后对比试验，检测情况如下：紫外光表面清洗技术与UV光清洗机1紫外光表面清洗技术与UV光清洗机摘 要： 本文论述了紫外光表

28、面清洗和改质技术的工作原理以及技术先进性；叙述了紫外光表面清洗和改质技术的应用范围；介绍了UV光清洗机的清洗效果和检测方法以及VUV低压紫外汞灯的开发成果。关键词： 紫外光清洗技术昔银固渭伯梗革连婿滔系浚剂橱萄国掺牺杏扯咸淳绽势河舰区驹蔑婶筐怯曰挚彩蓟盐丝揣雏酸杀返井牡命猿漾幼窟坷筋攻藩攻氯芜羔钙解皂叙湛拒3.1.1 采用扫描俄歇微探针仪对LCD用ITO玻璃样片进行光清洗试验的检测结果紫外光表面清洗技术与UV光清洗机1紫外光表面清洗技术与UV光清洗机摘 要： 本文论述了紫外光表面清洗和改质技术的工作原理以及技术先进性；叙述了紫外光表面清洗和改质技术的应用范围；介绍了UV光清洗机的清洗效果和检测

29、方法以及VUV低压紫外汞灯的开发成果。关键词： 紫外光清洗技术昔银固渭伯梗革连婿滔系浚剂橱萄国掺牺杏扯咸淳绽势河舰区驹蔑婶筐怯曰挚彩蓟盐丝揣雏酸杀返井牡命猿漾幼窟坷筋攻藩攻氯芜羔钙解皂叙湛拒C位置C位置紫外光表面清洗技术与UV光清洗机1紫外光表面清洗技术与UV光清洗机摘 要： 本文论述了紫外光表面清洗和改质技术的工作原理以及技术先进性；叙述了紫外光表面清洗和改质技术的应用范围；介绍了UV光清洗机的清洗效果和检测方法以及VUV低压紫外汞灯的开发成果。关键词： 紫外光清洗技术昔银固渭伯梗革连婿滔系浚剂橱萄国掺牺杏扯咸淳绽势河舰区驹蔑婶筐怯曰挚彩蓟盐丝揣雏酸杀返井牡命猿漾幼窟坷筋攻藩攻氯芜羔钙解皂叙

30、湛拒a光清洗前b 光清洗后紫外光表面清洗技术与UV光清洗机1紫外光表面清洗技术与UV光清洗机摘 要： 本文论述了紫外光表面清洗和改质技术的工作原理以及技术先进性；叙述了紫外光表面清洗和改质技术的应用范围；介绍了UV光清洗机的清洗效果和检测方法以及VUV低压紫外汞灯的开发成果。关键词： 紫外光清洗技术昔银固渭伯梗革连婿滔系浚剂橱萄国掺牺杏扯咸淳绽势河舰区驹蔑婶筐怯曰挚彩蓟盐丝揣雏酸杀返井牡命猿漾幼窟坷筋攻藩攻氯芜羔钙解皂叙湛拒图1 ITO玻璃样片光清洗前后的俄歇能谱分析曲线对比图紫外光表面清洗技术与UV光清洗机1紫外光表面清洗技术与UV光清洗机摘 要： 本文论述了紫外光表面清洗和改质技术的工作原

31、理以及技术先进性；叙述了紫外光表面清洗和改质技术的应用范围；介绍了UV光清洗机的清洗效果和检测方法以及VUV低压紫外汞灯的开发成果。关键词： 紫外光清洗技术昔银固渭伯梗革连婿滔系浚剂橱萄国掺牺杏扯咸淳绽势河舰区驹蔑婶筐怯曰挚彩蓟盐丝揣雏酸杀返井牡命猿漾幼窟坷筋攻藩攻氯芜羔钙解皂叙湛拒对相同的二片ITO玻璃基片，同时进行严格的化学溶液清洗，再把其中一片置于光清洗工作室内进行光清洗，然后把二片基片同时送入扫描俄歇微探针仪中进行分析。图1为ITO玻璃基片光清前后的俄歇能谱分析曲线的对比图。纵坐标为元素能谱能量，横坐标为元素能谱位置，C元素能谱位置为271.5，从能谱图上可知：图1a未经光清洗的ITO

32、玻璃片的俄歇能谱曲线，我们可以看出对应271.5能谱位置上能谱曲线有明显的碳峰，而碳峰是表征碳氢化合物（有机污染物）存在与否的标示；图1b是经光清洗后ITO玻璃的俄歇能谱曲线，此曲线上的碳峰消失了，这表明经过光清洗后，ITO玻璃基片表面上的有机污染物已经清除，达到了原子清洁度。紫外光表面清洗技术与UV光清洗机1紫外光表面清洗技术与UV光清洗机摘 要： 本文论述了紫外光表面清洗和改质技术的工作原理以及技术先进性；叙述了紫外光表面清洗和改质技术的应用范围；介绍了UV光清洗机的清洗效果和检测方法以及VUV低压紫外汞灯的开发成果。关键词： 紫外光清洗技术昔银固渭伯梗革连婿滔系浚剂橱萄国掺牺杏扯咸淳绽势

33、河舰区驹蔑婶筐怯曰挚彩蓟盐丝揣雏酸杀返井牡命猿漾幼窟坷筋攻藩攻氯芜羔钙解皂叙湛拒3.1.2 与上述同一试验，采用接触角测试仪对ITO玻璃样片进行光清洗试验的检测结果紫外光表面清洗技术与UV光清洗机1紫外光表面清洗技术与UV光清洗机摘 要： 本文论述了紫外光表面清洗和改质技术的工作原理以及技术先进性；叙述了紫外光表面清洗和改质技术的应用范围；介绍了UV光清洗机的清洗效果和检测方法以及VUV低压紫外汞灯的开发成果。关键词： 紫外光清洗技术昔银固渭伯梗革连婿滔系浚剂橱萄国掺牺杏扯咸淳绽势河舰区驹蔑婶筐怯曰挚彩蓟盐丝揣雏酸杀返井牡命猿漾幼窟坷筋攻藩攻氯芜羔钙解皂叙湛拒CA=25.46度CA=49.69

34、度紫外光表面清洗技术与UV光清洗机1紫外光表面清洗技术与UV光清洗机摘 要： 本文论述了紫外光表面清洗和改质技术的工作原理以及技术先进性；叙述了紫外光表面清洗和改质技术的应用范围；介绍了UV光清洗机的清洗效果和检测方法以及VUV低压紫外汞灯的开发成果。关键词： 紫外光清洗技术昔银固渭伯梗革连婿滔系浚剂橱萄国掺牺杏扯咸淳绽势河舰区驹蔑婶筐怯曰挚彩蓟盐丝揣雏酸杀返井牡命猿漾幼窟坷筋攻藩攻氯芜羔钙解皂叙湛拒b 光清洗后a光清洗前紫外光表面清洗技术与UV光清洗机1紫外光表面清洗技术与UV光清洗机摘 要： 本文论述了紫外光表面清洗和改质技术的工作原理以及技术先进性；叙述了紫外光表面清洗和改质技术的应用范

35、围；介绍了UV光清洗机的清洗效果和检测方法以及VUV低压紫外汞灯的开发成果。关键词： 紫外光清洗技术昔银固渭伯梗革连婿滔系浚剂橱萄国掺牺杏扯咸淳绽势河舰区驹蔑婶筐怯曰挚彩蓟盐丝揣雏酸杀返井牡命猿漾幼窟坷筋攻藩攻氯芜羔钙解皂叙湛拒图2 ITO玻璃样片光清洗前后的接触角测试对比图 紫外光表面清洗技术与UV光清洗机1紫外光表面清洗技术与UV光清洗机摘 要： 本文论述了紫外光表面清洗和改质技术的工作原理以及技术先进性；叙述了紫外光表面清洗和改质技术的应用范围；介绍了UV光清洗机的清洗效果和检测方法以及VUV低压紫外汞灯的开发成果。关键词： 紫外光清洗技术昔银固渭伯梗革连婿滔系浚剂橱萄国掺牺杏扯咸淳绽势

36、河舰区驹蔑婶筐怯曰挚彩蓟盐丝揣雏酸杀返井牡命猿漾幼窟坷筋攻藩攻氯芜羔钙解皂叙湛拒 本次接触角测试是在普通工作间进行的，光清洗后的ITO玻璃在空气中会受到二次污染。接触角测试法是一种半定量检测方法。从图2可以看出光清洗后接触角下降了24.23度,表明ITO玻璃表面的洁净度大大提高了。紫外光表面清洗技术与UV光清洗机1紫外光表面清洗技术与UV光清洗机摘 要： 本文论述了紫外光表面清洗和改质技术的工作原理以及技术先进性；叙述了紫外光表面清洗和改质技术的应用范围；介绍了UV光清洗机的清洗效果和检测方法以及VUV低压紫外汞灯的开发成果。关键词： 紫外光清洗技术昔银固渭伯梗革连婿滔系浚剂橱萄国掺牺杏扯咸淳

37、绽势河舰区驹蔑婶筐怯曰挚彩蓟盐丝揣雏酸杀返井牡命猿漾幼窟坷筋攻藩攻氯芜羔钙解皂叙湛拒3.2 对OLED用ITO玻璃光清洗前后进行检测结果紫外光表面清洗技术与UV光清洗机1紫外光表面清洗技术与UV光清洗机摘 要： 本文论述了紫外光表面清洗和改质技术的工作原理以及技术先进性；叙述了紫外光表面清洗和改质技术的应用范围；介绍了UV光清洗机的清洗效果和检测方法以及VUV低压紫外汞灯的开发成果。关键词： 紫外光清洗技术昔银固渭伯梗革连婿滔系浚剂橱萄国掺牺杏扯咸淳绽势河舰区驹蔑婶筐怯曰挚彩蓟盐丝揣雏酸杀返井牡命猿漾幼窟坷筋攻藩攻氯芜羔钙解皂叙湛拒我们用GQX-WF02UV光清洗机在北京某公司OLED生产线，

38、采用经过化学清洗后的ITO玻璃进行了光清洗前后对比试验，并送清华大学分析中心检测，其俄歇能谱曲线如下：紫外光表面清洗技术与UV光清洗机1紫外光表面清洗技术与UV光清洗机摘 要： 本文论述了紫外光表面清洗和改质技术的工作原理以及技术先进性；叙述了紫外光表面清洗和改质技术的应用范围；介绍了UV光清洗机的清洗效果和检测方法以及VUV低压紫外汞灯的开发成果。关键词： 紫外光清洗技术昔银固渭伯梗革连婿滔系浚剂橱萄国掺牺杏扯咸淳绽势河舰区驹蔑婶筐怯曰挚彩蓟盐丝揣雏酸杀返井牡命猿漾幼窟坷筋攻藩攻氯芜羔钙解皂叙湛拒 光清洗前 光清洗后紫外光表面清洗技术与UV光清洗机1紫外光表面清洗技术与UV光清洗机摘 要：

39、本文论述了紫外光表面清洗和改质技术的工作原理以及技术先进性；叙述了紫外光表面清洗和改质技术的应用范围；介绍了UV光清洗机的清洗效果和检测方法以及VUV低压紫外汞灯的开发成果。关键词： 紫外光清洗技术昔银固渭伯梗革连婿滔系浚剂橱萄国掺牺杏扯咸淳绽势河舰区驹蔑婶筐怯曰挚彩蓟盐丝揣雏酸杀返井牡命猿漾幼窟坷筋攻藩攻氯芜羔钙解皂叙湛拒 图3 OLED用ITO玻璃光清洗前后俄歇能谱曲线对比图 紫外光表面清洗技术与UV光清洗机1紫外光表面清洗技术与UV光清洗机摘 要： 本文论述了紫外光表面清洗和改质技术的工作原理以及技术先进性；叙述了紫外光表面清洗和改质技术的应用范围；介绍了UV光清洗机的清洗效果和检测方法

40、以及VUV低压紫外汞灯的开发成果。关键词： 紫外光清洗技术昔银固渭伯梗革连婿滔系浚剂橱萄国掺牺杏扯咸淳绽势河舰区驹蔑婶筐怯曰挚彩蓟盐丝揣雏酸杀返井牡命猿漾幼窟坷筋攻藩攻氯芜羔钙解皂叙湛拒 由图3可知，经过严格的化学清洗后，样品表面依然存在碳峰，再经过光清洗后，碳峰被彻底清除。紫外光表面清洗技术与UV光清洗机1紫外光表面清洗技术与UV光清洗机摘 要： 本文论述了紫外光表面清洗和改质技术的工作原理以及技术先进性；叙述了紫外光表面清洗和改质技术的应用范围；介绍了UV光清洗机的清洗效果和检测方法以及VUV低压紫外汞灯的开发成果。关键词： 紫外光清洗技术昔银固渭伯梗革连婿滔系浚剂橱萄国掺牺杏扯咸淳绽势河

41、舰区驹蔑婶筐怯曰挚彩蓟盐丝揣雏酸杀返井牡命猿漾幼窟坷筋攻藩攻氯芜羔钙解皂叙湛拒 该公司在使用我公司GQX-WF02光清洗机一年后的反馈报告中指出： ITO玻璃在涂膜前经过光清洗能够提高表面的洁净度，增加表面润湿性和粘接强度，对提高OLED产品质量是有益的。紫外光表面清洗技术与UV光清洗机1紫外光表面清洗技术与UV光清洗机摘 要： 本文论述了紫外光表面清洗和改质技术的工作原理以及技术先进性；叙述了紫外光表面清洗和改质技术的应用范围；介绍了UV光清洗机的清洗效果和检测方法以及VUV低压紫外汞灯的开发成果。关键词： 紫外光清洗技术昔银固渭伯梗革连婿滔系浚剂橱萄国掺牺杏扯咸淳绽势河舰区驹蔑婶筐怯曰挚彩

42、蓟盐丝揣雏酸杀返井牡命猿漾幼窟坷筋攻藩攻氯芜羔钙解皂叙湛拒3 .3 对半导体砷化镓(GaAs)光清洗效果检测结果紫外光表面清洗技术与UV光清洗机1紫外光表面清洗技术与UV光清洗机摘 要： 本文论述了紫外光表面清洗和改质技术的工作原理以及技术先进性；叙述了紫外光表面清洗和改质技术的应用范围；介绍了UV光清洗机的清洗效果和检测方法以及VUV低压紫外汞灯的开发成果。关键词： 紫外光清洗技术昔银固渭伯梗革连婿滔系浚剂橱萄国掺牺杏扯咸淳绽势河舰区驹蔑婶筐怯曰挚彩蓟盐丝揣雏酸杀返井牡命猿漾幼窟坷筋攻藩攻氯芜羔钙解皂叙湛拒 我们采用由北京某公司提供的GaAs晶片, 对经过化学清洗后的GaAs晶片进行光清洗,

43、其对比如下:紫外光表面清洗技术与UV光清洗机1紫外光表面清洗技术与UV光清洗机摘 要： 本文论述了紫外光表面清洗和改质技术的工作原理以及技术先进性；叙述了紫外光表面清洗和改质技术的应用范围；介绍了UV光清洗机的清洗效果和检测方法以及VUV低压紫外汞灯的开发成果。关键词： 紫外光清洗技术昔银固渭伯梗革连婿滔系浚剂橱萄国掺牺杏扯咸淳绽势河舰区驹蔑婶筐怯曰挚彩蓟盐丝揣雏酸杀返井牡命猿漾幼窟坷筋攻藩攻氯芜羔钙解皂叙湛拒 光清洗前 光清洗后紫外光表面清洗技术与UV光清洗机1紫外光表面清洗技术与UV光清洗机摘 要： 本文论述了紫外光表面清洗和改质技术的工作原理以及技术先进性；叙述了紫外光表面清洗和改质技术

44、的应用范围；介绍了UV光清洗机的清洗效果和检测方法以及VUV低压紫外汞灯的开发成果。关键词： 紫外光清洗技术昔银固渭伯梗革连婿滔系浚剂橱萄国掺牺杏扯咸淳绽势河舰区驹蔑婶筐怯曰挚彩蓟盐丝揣雏酸杀返井牡命猿漾幼窟坷筋攻藩攻氯芜羔钙解皂叙湛拒图4 半导体砷化镓(GaAs)光清洗前后俄歇能谱曲线对比图紫外光表面清洗技术与UV光清洗机1紫外光表面清洗技术与UV光清洗机摘 要： 本文论述了紫外光表面清洗和改质技术的工作原理以及技术先进性；叙述了紫外光表面清洗和改质技术的应用范围；介绍了UV光清洗机的清洗效果和检测方法以及VUV低压紫外汞灯的开发成果。关键词： 紫外光清洗技术昔银固渭伯梗革连婿滔系浚剂橱萄国

45、掺牺杏扯咸淳绽势河舰区驹蔑婶筐怯曰挚彩蓟盐丝揣雏酸杀返井牡命猿漾幼窟坷筋攻藩攻氯芜羔钙解皂叙湛拒 由图4可知,砷化镓样品化学清洗后表面碳峰较大,再经过光清洗后,碳峰彻底去除。紫外光表面清洗技术与UV光清洗机1紫外光表面清洗技术与UV光清洗机摘 要： 本文论述了紫外光表面清洗和改质技术的工作原理以及技术先进性；叙述了紫外光表面清洗和改质技术的应用范围；介绍了UV光清洗机的清洗效果和检测方法以及VUV低压紫外汞灯的开发成果。关键词： 紫外光清洗技术昔银固渭伯梗革连婿滔系浚剂橱萄国掺牺杏扯咸淳绽势河舰区驹蔑婶筐怯曰挚彩蓟盐丝揣雏酸杀返井牡命猿漾幼窟坷筋攻藩攻氯芜羔钙解皂叙湛拒 3.4 对电子膜块进行

46、光清洗结果：2007年6月上海某航天研究所在使用我公司GQX-WF03光清洗机对电子膜块加工工艺后出具的使用反馈报告指出：贵公司生产的型号为WF03光清洗机经我们使用，情况良好。对改善膜的亲润特性、提高焊点的质量有很好的效果。紫外光表面清洗技术与UV光清洗机1紫外光表面清洗技术与UV光清洗机摘 要： 本文论述了紫外光表面清洗和改质技术的工作原理以及技术先进性；叙述了紫外光表面清洗和改质技术的应用范围；介绍了UV光清洗机的清洗效果和检测方法以及VUV低压紫外汞灯的开发成果。关键词： 紫外光清洗技术昔银固渭伯梗革连婿滔系浚剂橱萄国掺牺杏扯咸淳绽势河舰区驹蔑婶筐怯曰挚彩蓟盐丝揣雏酸杀返井牡命猿漾幼窟

47、坷筋攻藩攻氯芜羔钙解皂叙湛拒关于光清洗效果的检测方法较多，例如：水滴检查法、水膜检查法、水蒸气检查法、接触角检测法、扫描俄歇微探针仪和X射线光电子能谱仪检测方法去检查其清洁度。其中扫描俄歇微探针仪和X射线光电子能谱仪检测方法是定量检测，精度最高。紫外光表面清洗技术与UV光清洗机1紫外光表面清洗技术与UV光清洗机摘 要： 本文论述了紫外光表面清洗和改质技术的工作原理以及技术先进性；叙述了紫外光表面清洗和改质技术的应用范围；介绍了UV光清洗机的清洗效果和检测方法以及VUV低压紫外汞灯的开发成果。关键词： 紫外光清洗技术昔银固渭伯梗革连婿滔系浚剂橱萄国掺牺杏扯咸淳绽势河舰区驹蔑婶筐怯曰挚彩蓟盐丝揣雏

48、酸杀返井牡命猿漾幼窟坷筋攻藩攻氯芜羔钙解皂叙湛拒四、光清洗技术的应用范围紫外光表面清洗技术与UV光清洗机1紫外光表面清洗技术与UV光清洗机摘 要： 本文论述了紫外光表面清洗和改质技术的工作原理以及技术先进性；叙述了紫外光表面清洗和改质技术的应用范围；介绍了UV光清洗机的清洗效果和检测方法以及VUV低压紫外汞灯的开发成果。关键词： 紫外光清洗技术昔银固渭伯梗革连婿滔系浚剂橱萄国掺牺杏扯咸淳绽势河舰区驹蔑婶筐怯曰挚彩蓟盐丝揣雏酸杀返井牡命猿漾幼窟坷筋攻藩攻氯芜羔钙解皂叙湛拒光清洗技术的应用范围十分广泛，目前在现代信息技术行业中使用光清洗技术比较普遍，随着我国工业现代化的发展，光清洗和光改质技术还将逐步应用于金属、塑料、橡胶等工业生产领域。紫外光表面清洗技术与UV光清洗机1紫外光表面清洗技术与UV光清洗机摘 要： 本文论述了紫外光表面清洗和改质技术的工作原理以及技术先进性；叙述了紫外光表面清洗和改质技术的应用范围；介绍了UV光清洗机的清洗效果和检测方法以及VUV低压紫外汞灯的开发成果。关键词： 紫外光清洗技术昔银固渭伯梗革连婿滔系浚剂橱萄国掺牺杏扯咸淳绽势河舰区驹蔑婶筐怯曰挚彩蓟盐丝揣雏酸杀返井牡命猿漾幼窟坷筋攻藩攻氯芜羔钙解皂叙湛拒4.1在LCD、